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VacuSys - Vakuum Meßsensor

 

Der Sauerstoff - Sensor für anspruchsvolle Ergebnisse


 

Das Sensorsystem ist für Anwendungen zur Messung des Sauerstoffpartialdruckes in Vakuumanlagen im spezifizierten Druckbereich ausgelegt.

Der Sauerstoffsensor basiert auf der selektiven Sauerstoff-Ionenleitfähigkeit von mit Yttrium - stabilisiertem Zirkoniumdioxid. Dieser keramische Festkörperelektrolyt ist für Oxidionen leitfähig, dessen Leitfähigkeit direkt proportional zu einem messbaren elektronischen Strom ist, welcher mittels Messverstärker amperometrisch ausgewertet wird.

Der Sauerstoffsensor kann applikationsabhängig bei Sauerstoffpartialdrücken im Sputterbereich eingesetzt werden.Die Ionenleitfähigkeit des Sensors ist temperaturabhängig und tritt erst bei höheren Temperaturen ein.
Um zu reproduzierbaren Ergebnissen zu kommen, muss die Temperatur des Sensorheizelementes konstant gehalten werden.

Die Regelungsgenauigkeit wird durch einen hochpräzisen Temperaturregler in 4-Leiter Konfiguration erzielt.

Die VacuTronic arbeitet mit einem hochauflösenden 24-Bit A/D Stromwandler.
Hierdurch ist die Auflösung der Sensorelektronik um mehrere Größenordnungen besser, als der spezifizierte Arbeitsbereich der Sauerstoffsensoren.

Die Sensorelektronik kann Signalströme bis herunter von ca. 100pA mit hoher Präzision messen.
Die Messgenauigkeit beträgt dabei ca. 0,1% +/- 10 Digits.

Haben wir Ihr Interesse geweckt? Dann freuen wir uns Ihre Applikation kennen zu lernen!

Ihr

Peter Hennes
(Geschäftsführer)